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      極紫外(EUV)光刻膠材料

      極紫外(EUV)光刻膠材料

      交易信息:
      完全轉(zhuǎn)讓-0.00 元
      技術(shù)領(lǐng)域:
      應用領(lǐng)域:
      最后更新時間:2022-07-28 15:21
      所在地:
      吉林省 長春市 南關(guān)區(qū)
      所有者:
      飆飆
      聯(lián)系方式:
      13756056562
      具有自主知識產(chǎn)權(quán)的EUV光刻膠的成功研發(fā),填補了我國在超高精細光刻膠研發(fā)領(lǐng)域的空白,將為擺脫國內(nèi)高檔光刻膠材料完全依賴進口的格局,促進我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展起到積極的促進作用。在此工作的基礎(chǔ)上,以獲得的光刻膠主體材料為核心,通過配方和工藝研發(fā),實現(xiàn)了193nm曝光機光刻,為我國開展193nm和193nm浸沒式光刻膠的研發(fā)打下了基礎(chǔ)。

      具有自主知識產(chǎn)權(quán)的EUV光刻膠的成功研發(fā),填補了我國在超高精細光刻膠研發(fā)領(lǐng)域的空白,將為擺脫國內(nèi)高檔光刻膠材料完全依賴進口的格局,促進我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展起到積極的促進作用。在此工作的基礎(chǔ)上,以獲得的光刻膠主體材料為核心,通過配方和工藝研發(fā),實現(xiàn)了193nm曝光機光刻,為我國開展193nm和193nm浸沒式光刻膠的研發(fā)打下了基礎(chǔ)。

      阿薩德1111245
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