原位透射電子顯微鏡是當(dāng)今材料科學(xué)研究領(lǐng)域中非常重要的先進(jìn)分析手段,它能從納米尺度實時研究材料在復(fù)雜環(huán)境中的服役行為。該類分析設(shè)備價格昂貴、嚴(yán)重依賴于進(jìn)口,使用性能受到很大限制。本工作自主設(shè)計構(gòu)建透射電鏡原位等離子體態(tài)樣品臺,首創(chuàng)實現(xiàn)從納米尺度原位觀測等離子體與材料的相互作用。為研究等離子體環(huán)境中的表面與界面科學(xué),特別是研究各種等離子體條件下復(fù)雜的化學(xué)氣相合成反應(yīng)等開拓了必要的技術(shù)裝備,具有重要的科研價值和經(jīng)濟(jì)意義。可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、化學(xué)化工、生物制藥等分析表征研究領(lǐng)域。
技術(shù)特點
透射電鏡原位等離子體態(tài)樣品臺由樣品桿和反應(yīng)室組成,與JEOL、FEI、Hitachi等透射電鏡有很好的設(shè)備兼容性。該樣品臺裝備有一對由SiNx自支撐膜組成的全封閉式/流動式微型等離子體態(tài)反應(yīng)室,可使用各種反應(yīng)氣體,氣壓可在760Torr-mTorr范圍內(nèi)變化,反應(yīng)室最大高度400μm,容積連續(xù)可調(diào),觀察區(qū)域面積25×25~100×100μm2,可使用直流/射頻電源,最大外加偏壓800V。