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      鋁合金腔體表面防護(hù)和缺陷修復(fù)技術(shù)

      鋁合金腔體表面防護(hù)和缺陷修復(fù)技術(shù)

      交易信息:
      完全轉(zhuǎn)讓-0.00 元
      技術(shù)領(lǐng)域:
      先進(jìn)制造技術(shù)
      應(yīng)用領(lǐng)域:裝備制造
      最后更新時間:2022-07-28 15:56
      所在地:
      吉林省 長春市 南關(guān)區(qū)
      所有者:
      飆飆
      聯(lián)系方式:
      13756056562
      本項(xiàng)目采用冷噴涂在鋁合金腔體表面噴涂防護(hù)涂層,或?qū)﹁T造鋁合金缺陷進(jìn)行修復(fù),滿足其使用要求。該技術(shù)提供一種等離子刻蝕腔體表面防護(hù)涂層的制備方法,該涂層能減少或阻止腐蝕性氣體對腔體的腐蝕和金屬離子對半導(dǎo)體晶片的污染,提高等離子體刻蝕晶片生產(chǎn)中反應(yīng)室腔體材料的使用壽命。應(yīng)用于大規(guī)模集成電路等離子體刻蝕腔體表面防護(hù)。

      技術(shù)特點(diǎn)(包含主要技術(shù)指標(biāo))

      本項(xiàng)目利用冷噴涂低溫高速的特點(diǎn),一方面在鋁合金表面噴涂防護(hù)涂層,解決鋁合金在強(qiáng)腐蝕介質(zhì)中的腐蝕問題,同時保持鋁合金零部件的尺寸精度;另一方面也可以對具有鑄造缺陷或磨損的鋁合金部件進(jìn)行修復(fù),滿足其使用要求。


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